도서소개
저자소개
목차소개
0. 시작하는 말
1. 전기
A. 차쥐 (Charge)
B. 전기장 (Electric field)
C. 가우스 법칙 (Gauss’ law)
D. 포텐셜 (Potential)
E. 전류, 저항 (Current, resistance)
F. 회로 (Circuit)
2. 4-포인트 프로브 측정 (4-Point Probe Measurement)
A. 벌크 비저항 (Resistivity)
B. 박막 면저항 (Sheet resistance)
C. 경계 부근에서 비저항
D. 오차 보정 (Error correction)
3. 다층박막에서 면저항 측정 (Sheet resistance on multi-layer thin films)
A. 기본 구조
B. 측정 결과 및 해석
C. MRAM의 면저항
4. 나노 사이즈 박막에서 면저항
A. FS 모델 (Fuchs-Sondheimer model)
B. MS 모델 (Mayadas-Shatzkes model)
5. 끝맺는 말