이 책은 수식을 쓰지 않고 독자에게 원자, 분자, 이온, 전자, 플라스마 등에 익숙해지도록 하려는 의도로 쓰여졌다. 진공은 그런 입자의 한개 한개의 행동을 상상하면 이해가 빠르기 때문이다. 보통 '진공'이란 공간 속의 기체분자가 적은 상태라고 생각하고 있다. 그러나 더욱 '청정'의 극한을 추구하면 여러 가지 변화가 일어난다. 또한 기술혁신에서 가능해지는 과정을 서술하고 있다.
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저자소개
1948년 도쿄공업대학 부속공업전문부 금속공학과 졸업.
저서 : <초고진공>, <표면분석>, <분자선 에피택시얼 기술> 등 다수
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목차소개
머리말
1. 진공의 자리를 내리는 일에의 도전
2. 진공 공업이 더듬어온 길
3. 가장 눈부신 발전 - 진공을 이용한 성막 공업
4. 감기 증착
5. 이온 플레이팅
6. 플라스마 프로세스 - 스퍼터링
7. 초고진공Ⅰ - 깨끗한 진공을 만든다
8. 초고진공Ⅱ - 표면과학과 분자선 에피택시얼 성장
9. 넓어지는 플라스마 이온빔 이용 기술
10. 거대 과학과 초고진공 기술 - 앞으로의 진전
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